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            石英材料:0716-8304668/0716-8333088
            
  
    
            石英纖維 銷售電話 : 18071880998
            
  
    
  
            

            




  
  
  
 

            
	

            

            
	

            

  
  
 
  


  
  
            
    
            
      
            
          
            
          
            石英晶圓
            
        
            
        
            
          
        
            

            

            
材料簡(jiǎn)介

            

            

            
Introduction

            

            

            

            
使用高品質(zhì)原材料生產(chǎn)的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片，可根據(jù)客戶要求定制。 

            使用高品質(zhì)的合成石英玻璃，最大尺寸可達(dá)φ300mm，最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。

            

            

            

            

            
主要用途

            

            

            
Main Application

            

            

            

            
半導(dǎo)體制成、生物技術(shù)、MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）、HTPS（高溫多晶硅TFT液晶）。

            

            

            

            

            
規(guī)格參數(shù)

            

            

            
Corresponding Specifications

            

            

            

            

            

            

            

            
厚度

            

            

            

            

            
尺寸公差
            （ mm ）

            

            

            

            

            
平面度（PV）（通光面）

            

            

            

            

            
TTV

            

            

            

            

            
表面粗糙度（Ra）

            

            

            

            

            
劃痕

            

            

            

            

            
凹坑

            

            

            

            

            
崩邊
            （ μ m ）

            

            

            

            

            

            

            
≥0.5 mm

            

            

            

            

            
直徑 ± 0.1 
             厚度 ± 0.02 mm

            

            

            

            

            
≤ λ （ λ = 632.8mm ）

            

            

            

            

            
≤ 1 μm （ φ 200 mm ）

            

            

            

            

            
≤ 0.01 μm

            

            

            

            

            
寬度 ≤ 10 μm

            

            

            

            

            
直徑 ≤ 25 μm

            

            

            

            

            
≤ 300 μm （楞邊）
             ≤ 200 μm （表面）

            

            

            

            

            

            

            
詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)致電詳談（尺寸φ300mm以內(nèi)）

            

            

            

            

            

            

            
TTV（3D圖）

            

            

            
TTV

            

            晶圓TTV 3D圖.jpg

            

            

            
TTV（曲線圖）

            

            

            
TTV Curve

            

            晶圓TTV 曲線圖 拷貝.jpg

            

            

            

            

            
樣品測(cè)量值

            

            

            
Sample Measurement

            

            

            

            

            

            

            
φ300 mm

            

            

            

            

            
平面度（PV）（通光面）
            ≤ λ （ λ = 632.8mm ）            

            

            

            

            

            
表面粗糙度（Ra）≤ 0.01 μm 

            

            

            

            

            

            

            
產(chǎn)品詳情咨詢：18272229653

            

            

            

            

            

            

            

            

            

            

            

            

            

            
          
        
            
              
      
            
    
            
  
            
  
  
 
 

            
    
            
        
            
            
            
            
                

                
            地址：湖北省荊州市東方大道68號(hào)
            
                
            郵編：434000
            
                
            電話：86-0716-8304668，8333088
            
                
            傳真：86-0716-8310688
            
                
            郵箱：info@feilihua.com
            
                
            
            
        
            
        
            
		  
               
			   
            
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